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實驗檢測儀器
測量分析顯微鏡
PZ-3020MA測量分析顯微鏡
                    




產(chǎn)品簡介
                測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品特點:
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
測量分析顯微鏡技術(shù)規(guī)格參數(shù):
型號  | PZ-3020MA  | ||||
工作臺  | 金屬臺尺寸(mm)  | 500 x 330  | |||
玻璃臺尺寸(mm)  | 350 x 250  | ||||
X、Y軸運動行程(mm)  | 300 x 200  | ||||
手動Z軸行程(mm)  | 120  | ||||
自動Z軸行程(mm)  | 2  | ||||
外形尺寸(mm)  | 825 x 660 x 910  | ||||
儀器重量(kg)  | 130  | ||||
X、Y、Z軸分辨力(μm)  | 0.5  | ||||
自動Z軸分辨力(μm)  | 0.1  | ||||
示值誤差(μm)  | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度,單位mm)  | ||||
物鏡放大倍數(shù)誤差  | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%  | ||||
落射照明光源  | 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/span>  | ||||
底光照明光源  | 可調(diào)高亮度LED燈源  | ||||
目視系統(tǒng)  | 影像系統(tǒng)  | ||||
物鏡放大倍數(shù)  | 5X、10X、20X、50X  | 5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡  | |||
目鏡放大倍數(shù)  | 10X雙鏡筒  | 1/2”CCD攝像機  | |||
視頻總倍率  | 50X ~500X  | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)  | |||
單層透明膜厚度測量模組  | |||||
高精度測量模式  | 快速測量模式  | ||||
厚度測量范圍  | 100nm ~300nm  | 300nm ~500nm  | 500nm ~3μm  | 3μm ~20μm  | |
分辨力  | 5nm  | 5nm  | 7.5nm  | 0.1μm  | |


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